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常見問題

請教擴散泵抽不上真空

文章來源:本站人氣:1785發表時間:2015-05-25

排查方法:
1.懷疑擴散泵或主閥氣缸有泄漏;
2.爐腔有泄漏;我們主閥來回切換,后是發現真空爐爐腔有個位置有泄漏。
3.應該是泵體本身的原因,是不是密封圈壞了。
此文關鍵詞:
武汉玩荤的地方2020